מערכות ואקום למוליכים למחצה – סמיקונדקטור: החשיבות של רכיבים איכותיים לניקיון בייצור
ייצור מוליכים למחצה דורש נקיון מירבי בכל שלבי הייצור. הדרישות לדיוק בתצהיר חומרים, תחריט, פוטוליתוגרפיה ושלבים מעורבים אחרים בייצור וואפרים (wafer fabrication) פירושו שהפאב חייב להיות בעל מערכת איכותית ורכיבים המספקים את רמת הניקיון הגבוהה ביותר.
במהלך ייצור וואפרים, נדרש דיוק קפדני כדי להבטיח ואקום, לחץ אטמוספרי ובקרת זרימה בתהליך. שימוש ברכיבים איכותיים יסייע כמובן להשגת תנאי התהליך הרצויים עבור מערכות ואקום לייצור מוליכים למחצה.
טכנולוגיית ניקיון ואקום בייצור מוליכים למחצה
לא ניתן להפריז בחשיבות הניקיון בתעשיית המוליכים למחצה. כתם אבק בודד יכול לפגוע באיכות ובביצועים של המוליך למחצה. זוהי דאגה בעדיפות גבוהה מאד עבור היצרנים, לאור המורכבות ודרישות הגוברות של המוליכים למחצה במגוון רחב של תעשיות. תיכנון חדרים נקיים ומערכות ואקום מותאמות לפיכך תוך התחשבות בדאגה לנקיון בתהליך.
מערכות ואקום לייצור מוליכים למחצה, מתמקדות בשלבים שונים של ייצור במטרות הבאות:
- הפחתת זיהומים כדי למנוע זיהום בתהליך הייצור
- הורדת הלחץ כדי להקל על האחידות של מיקום וואפרים
- הורדת הטמפרטורה כדי למנוע דפורמציה של וואפרים
מערכות ואקום הן אמצעי להבטחת בקרה קפדנית של לחץ נמוך ותנאים סניטריים. משאבות ואקום מסלקות את הגזים הנמצאים בחלק הפנימי של תא העיבוד כדי להוריד את הלחץ לרמה הרצויה. ניתן לקבוע את הלחץ ב-7.5-8mTorr ומטה עבור מערכת ואקום ברמת נקיון גבוה במיוחד.
לאחר סילוק כל הגזים האטמוספריים, מוכנסים הגזים המיוחדים כגון חנקן, ארגון והליום. האינרטיות של גזים אלה פירושה שהם מספקים סביבה נקייה לעיבוד מוליכים למחצה ומונעים תגובות כימיות מיותרות על מנת לאפשר פעולה פרודוקטיבית יותר בתהליך. ניתן לשפר עוד יותר את הפרודוקטיביות על ידי שחזור ומיחזור גזים ברמה גבוהה יותר (כלומר, ארגון, הליום).
עבור בקרת לחץ יעילה, כניסת גז ובקרת פליטה בתא הוואקום, חיוני שיהיו רכיבים במקום התומכים בטיפול נטול דליפות וטיפול סניטרי בגזי התהליך.
רכיבים באיכות גבוהה עבור מערכות ואקום מוליכים למחצה
ביישומים הדורשים נקיון גבוה במיוחד, לא ניתן להתפשר על הצורך בבקרת התהליך והאיטום. יצרני ה-OEM וה-Fabs של מוליכים למחצה יכולים להשתמש באביזרי איכות גבוהה המספקים חיבור אמין לכל מערכות חלוקת הגז והפינויו. חומרי אביזרי אלו חייבים להיות תואמים לעבודה עם מגוון רחב של נוזלים ובעלי גימור חלק כדי לתמוך בניקיון.
הרכיבים, כגון אטם הפנים ואקום ואביזרים לצינורות מבית SDA-TECH, הם אידיאליים לשמירה על סטנדרטים עבור מערכות ואקום מוליכים למחצה.
היתרון של אביזרים אלה הוא שאיטום מתכת למתכת אמין הרבה יותר מאשר איטום אלסטומר o-ring, אשר יכול להתקלקל כאשר משתמשים בו עם נוזל מאכל. הביצועים למניעת דליפות של אביזרים אלו מועילים מאוד לשמירה על בקרת תהליך בתאי ואקום לייצור מוליכים למחצה.
בואו נסכם את התכונות שמציעים אביזרי ואקום של SDA-TECH :
- ביצועים אטומים לדליפות כדי להבטיח שאין תנודות בלחץ או הכנסת מזהמים לאורך הדרך
- התקנה ותחזוקה קלים להרכבה יעילה וצמצום זמן השבתה תפעולי
- עיצוב שמבטל את הסיכוי ללכידת נוזלים
- נירוסטה 304/316 לעמידות בפני קורוזיה
- גימור מלוטש אלקטרו לשיפור הניקיון
- תאימות ל- ASME G93: נוהל סטנדרטי לשיטות ניקוי ורמות ניקיון של חומרים וציוד המשמשים בסביבות מועשרות בחמצן
מערכות ואקום מוליכים למחצה: שומרים על נקיון גבוה עם אביזרי SDA-TECH
שמירה על נקיון התהליך בחדרים נקיים או בתאי ואקום מסתכמת בביצועים הגבוהים של כל רכיב במשחק. לדוגמה, בקווי הפינוי או האספקה בלוח חלוקת הגז, יש להשתמש באביזרים איכותיים לבקרת תהליך במהלך ייצור וואפרים. אביזרי הוואקום בנקיון האולטרה-גבוהים מבית SDA-TECH מונעים קורוזיה וזיהום ויש להם פרטים עמידים בפני דליפות כדי להבטיח שתהליך ייצור המוליכים למחצה שלך יתנהל בצורה חלקה.
כמומחה בתחום, SDA-TECH גם יעזור לך למצוא את הרכיבים המתאימים ביותר לדרישה עבור מערכת אספקת הגז שלך . באמצעות מוצרים איכותיים וייעוץ מומחה, SDA-TECH תעזור לך להשיג סטנדרט מצוין לניקיון עבור מערכות השואב המוליכות למחצה שלך.
צור עימנו קשר ליעוץ ולביצוע מערכות ואקום למוליכים למחצה – סמיקונדקטור.